Определение. Вакуумный насос — устройство для удаления (откачки) газов или паров до определённого уровня давления (технического вакуума).
Конструкция. В общем виде, насос состоит из камеры с поршнем или ротором, впускного и выпускного каналов, клапанов. Некоторые устройства требуют охлаждения, смазки или использования рабочих жидкостей.
Принцип работы. Основан на последовательном увеличении давления внутри рабочей камеры. Сначала газ поступает через входной патрубок. Затем рабочий элемент (например, лопасть, диафрагма или спираль) перемещает его к выходу. Давление при этом постепенно увеличивается, соответственно, газ сжимается. Сжатый воздух выходит через выходной клапан.
Классификация вакуумных насосов. По назначению подразделяются на сверхвысоковакуумные, высоковакуумные, средневакуумные и низковакуумные, а в зависимости от принципа действия — на механические и физико-химические.
Некоторые типы вакуумных насосов:
- Объёмные (роторно-пластинчатые, поршневые, винтовые) создают вакуум за счёт изменения объёма рабочей камеры. Например, в роторно-пластинчатых насосах вращающийся ротор с подвижными пластинами захватывает и вытесняет газ, создавая разрежение.
- Водокольцевые используют жидкость (обычно воду) для герметизации, удаления газа.
- Молекулярные (диффузионные и турбомолекулярные) работают на высоких скоростях, воздействуя непосредственно на молекулы газа и выталкивая их из системы.
- Криогенные основаны на принципе замораживания газов для их удаления.
